美国Brooks Instruments高温质量流量控制器5850EMH特点优势
高温热质量流量控制器和仪表
具有挑战性的高温应用的很高纯度的流动路径。
当今许多先进的电子器件制造工艺的要求非常准确和高度可重复的测量和昂贵的超纯气体和液体前体的控制。布鲁克斯仪器符合我们的高温金属封闭热质量流量控制器和仪表这些需求。精确的化学控制是通过超稳定，高精度测量传感器，快速精密控制阀和强大的数字电子产品的组合来实现。工艺化学纯度是由我们的高完整性（漏紧）保证，超高纯度，全金属润湿流路，旨在保持外污染物，如水分和氧气从破坏工艺介质。

主要应用领域
光纤制造 - MCVD
硅半导体装置的制造工序的
CVD（蒸气形式前驱体传输）
条（水蒸气）
蚀刻（钝化水蒸气）
5850EMH系列高温质量流量控制器
成熟的长期稳定性。超纯性能用于高温应用。
型号5850EMH / 5851EMH
提供的高温气体的测量和控制的先进的性能，布鲁克斯仪器的5850EMH系列高温金属密封质量流量控制器具有多种选项，允许最大的应用灵活性结合了金属密封件优秀泄漏完整性。所述5850EMH系列的心脏是高度稳定的传感器，其提供了与流量的电输出信号线性的。这个信号用于指示，而不需要一个自动置零电路的记录和/或控制目的。
特征
高泄漏完整性（小于10-11 Pa.m3 /秒（10-10 atm.cc/s）他）
宽流量范围（0.003 - 100 SLPM）
高纯度的VAR 316L不锈钢
颗粒无
氦气泄漏检查口
常闭阀（常开阀可选）
电致动控
低命令流量切除
TTL兼容“阀关”功能
优点
稳定，成熟的产品平台
高流量能力可达100 LPM（N2当量）
全金属流动路径增强了气体纯度，并减少泄漏
易于安装和使用仅限于模拟输入/输出服务
应用
光纤制造 - MCVD，OVD，AVD
水蒸气流控制
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件，提供过程控制技术咨询，工业自动化集成设计与改造，成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等，欢迎来电咨询。
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