美国布鲁克斯Brooks Instruments流量控制器9861系列特征
9861系列高温质量流量控制器和仪表提高高温流量控制精度和效率。
型号9861
专为与冷凝的前体和掺杂剂的输送温度较高有关的具有挑战性的条件下，9861系列高温热质量流量控制器和布鲁克斯仪器仪表具有高纯度，高泄漏完整性金属流道，确保了所有工艺气体和蒸汽的兼容性。专利IsoSensor?是一种高稳定性流量传感器与加热气体线路和烘烤系统中升高的环境温度兼容。在IsoSensor?的超低漂移性能减少了频繁的重新归零和重新校准在高温应用的典型需求。

特征
超稳定专利IsoSensor?流量测量传感器
超高纯度流路
远程电子标配两个模拟电连接器
数字化测量和控制架构
优点
高稳定性传感器提供卓越的正常运行时间，减少了维护，降低总拥有成本
湿流路全金属确保燃气/蒸汽的完整性和纯度
包括20针卡边缘和9或15针“D”连接器实现标准化并降低库存
增强的精度和工艺控制
应用
光纤制造 - MCVD
硅半导体装置的制造工序的
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
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