美国布鲁克斯Brooks Instruments流量控制器5850EM系列简要
5850EM系列采用金属密封的热质量流量控制器成熟的长期稳定性。超纯性能高压应用。
型号5850EM / 5851EM
5850EM系列金属封闭质量流量控制器测量和控制高压气体在超洁净的环境中，内置上广泛使用的5850E＆i系列微生物燃料电池性能的系统稳定性的流动。它的金属密封结构和电抛光液表面确保出色的流程的完整性和帮助省去了连续监测和气体压力的调整提供稳定的气流量提高整体处理效率。

特征
每年<0.2％满量程长期零点稳定性
<3秒建立时间命令可以忽略不计冲/下冲的变化
流量范围宽 - 从3 SCCM高达30,000 SLPM
高压力等级 - 高达1500磅
可选的增强过程内部完成 - 5μ英寸镭平均
移动流量传感器
不受安装态度
机械地和与其他质量流量控制器电兼容
TTL兼容“阀门关”和清除功能
优点
全金属流动路径增强了气体纯度，并减少泄漏
成熟的长期稳定性和准确性跨越广泛的流程和应用范围
投资由于性能可靠的优异回报
移动流量传感器消除需要的气体压力的连续监测和调整
易于安装和使用仅限于模拟输入/输出服务
应用
光纤
LED / MOCVD
半导体
太阳的
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
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