美国布鲁克斯Brooks Instruments质量流量控制器GF80产品规格

产品类别
质量流量控制器

微分高纯度
性能
流量范围（满量程容量）3 SCCM - 300 SLM
准确性
±1％S.P. 35-100％
±0.35％F.S. <5-35％

重复性<±0.2％S.P.
线性度
±0.5％F.S. （包括精度）

响应时间
常闭阀：<1秒

多气体和范围可配置MultiFlo?可用
压力瞬变不敏感 -
控制范围
<5％ - 100％

箱数
标准GF系列：11箱
高流量GF系列：4箱

阀门关闭
标准GF系列：<1％F.S.

高流量GF系列：<标准配置F.S.的4％ @ 30psig / ATM出N2当量。
零点稳定性<±0.5％F.S.每年
机械
密封材料金属
纯度水平/表面处理16μ英寸镭
接液材料
316不锈钢
哈氏合金C-22
17-7 PH
430SS
KM-45

阀选
常闭
计（无阀）

评级
很高温度50℃
差压量程
3-860 SCCM = 7-45 PSID
861-7200 SCCM = 15-45 PSID
7201-50000 SCCM = 25-45 PSID
51-300 SLM = 30-90 PSID
（典型压降）

最大压力
标准GF系列：150 PSIG（10条）
高流量GF系列：米= 75 PSIG（5杆），控制器= 150表压（10巴）

泄漏完整性1x10-10大气压毫升/秒他
诊断和显示
诊断功能可用
状态指示灯MFC健康，网络状态
警报
控制阀输出，网络中断
诊断/服务端口
通过2.5毫米接口RS485（所有型号）

电动
模拟通信
0-20毫安
4-20毫安
0-5伏
0-10伏直流

数字通信
的DeviceNet?
PROFIBUS®
RS485 S-协议
RS485 L-协议
RS485 A-协议（GF081）
电气连接
通过9针“D”连接器PROFIBUS /模拟
通过9针“D”连接器，15针“D”连接器RS485 /模拟
的DeviceNet?通过5针“M12”连接器

电源/功耗
标准GF系列：RS485从+12伏至+24 VDC = 7瓦最大
PROFIBUS从+13.5 Vdc至+27伏= 7瓦最大
的DeviceNet?从+11 Vdc至+ 25V = 13.6瓦最大

高流量GF系列：RS485从+12伏至+24 VDC = 3.3瓦最大
PROFIBUS从+13.5 Vdc至+27伏= 3.3瓦最大
的DeviceNet?从+11 Vdc至+ 25V = 3.3瓦最大
合规
EMC
CE：EN6126：2006（FCC第15部分和加拿大IC子集CE测试）
环境合规性
安全EN61010-1
RoHS指令
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