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美国Brooks Instruments(布鲁克斯)热质量流量计GF100说明

阅读次数:1719    发布时间: 2016-01-22 09:31:00

美国Brooks Instruments(布鲁克斯)热质量流量计GF100说明
通过结合布鲁克斯的专利流量传感器技术与高速ARM处理器,快速的动膜片免费阀门装配时,GF100系列提供高达3倍的速度相对于其他的质量流量的响应和稳定时间控制器,可实现:
通过减少非生产性的流动改进晶片的产量解决步骤
超快需要1-2秒的蚀刻步骤的关键蚀刻工艺
减少分流天然气消费量和相关的减排成本
在原子层沉积时间敏感的气体输送步骤
对于需要一个缓慢的过程憋足气的开启或时间流量之间的关键过渡。用户可编程斜坡函数被提供


MultiFlo?MultiFlo气体和范围可配置比传统的单点气体的一个重大进步换算系数,布鲁克斯MultiFlo技术,可提供高达一三次改进工艺气体精度。这是通过优化,通过先进的燃气建模实现实际气体测试非线性气体提供补偿。MultiFlo还允许设备可以快速,轻松地配置为没有其他气体和/或流量范围牺牲准确性或rangability。选择一个新的气体
自动创建一个新的标准曲线,建立动态控制进行了优化PID设置,自动补偿气体密度的影响,并确保平稳,流量之间的超调,无过渡具有优良静态稳定。
布鲁克斯MultiFlo技术提供了无与伦比的灵活性;一个单个设备可以编程为数千种不同的气体和流量范围配置。重新编程简单,快捷;新的燃气和范围可以可在30秒编程研究。布鲁克斯提供了一个完整的气体数据库,以确保MultiFlo的真正价值实现:
大大降低了库存成本
质量流量控制器满量程流量范围可以再缩小通常通过3倍:1的对精度没有影响,翻折或规格泄露,很佳工艺和库存灵活性
最多支持典型要求的少40%配置蚀刻和CVD工艺经文我们最接近的竞争对手
通过广泛的气库最广泛的工艺气体覆盖
质量流量控制器可以被替换在只有几分钟
现成的备件可编程性能够快速的过程复苏
用于研究应用最大的灵活性
美国Brooks Instruments(布鲁克斯)作为EMERSON(艾默生)旗下的一子公司,专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验,Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术(压力控制器、压力表、压力变送器等)。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
上海连航机电科技有限公司是国内专业的进口机电产品与技术集成服务商。公司专注于为中国工业企业供应进口备品备件,提供过程控制技术咨询,工业自动化集成设计与改造,成套设备与技术引进等工业技术应用及产品供应服务。主要产品有BENZLERS减速机、 ABB电容电桥测试仪、BEFELD整流器、BROOKS流量变送器、MESA氧分析仪、HBM传感器、HUBNER编码器、PFAFF线性执行器、FINDER离心泵、E2V闸流管等,欢迎来电咨询。
为紧跟工业科技发展步伐,保障全产业链一体化工业服务水平,连航分别在德国和美国设有公司和仓储中心,自此建立了对欧美先进工业品与工业技术大规模引进的高速通道。凭借的全球采购能力和工厂直采加产品集散带来的二度成本压缩,连航扩大了在业内的先进优势,终端服务效率与水平与日俱增。


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