美国Brooks Instruments布鲁克斯热质量流量计GF100 / GF120 / GF125说明
设计用于半导体，MOCVD和需要其他气体流量控制应用高纯度全金属流道，在Brooks®GF100系列质量流量控制器和米提供卓越的性能，可靠性和灵活性。广发亮点系列业界先进的功能包括：超高速300毫秒的建立时间，MultiFlo?气体和范围的可编程，可选的压力瞬变不敏感（PTI）本地显示器，极低的润湿表面积，和耐腐蚀哈氏传感器管和气门座。该GF100系列一直是马拉松式的测试，以超过三倍可靠性半导体行业标准，以确保可重复的低漂移性能随着时间的推移。独立的诊断/服务端口允许用户排除故障或改变流动条件，但不从服务质量流量控制器。

旗舰GF125是第二代多变量，压力瞬变不敏感质量流量控制器。该产品建立在布鲁克斯的压力的领导地位瞬变不敏感型（PTI）质量流量控制器的技术，最大限度地降低工艺气体流的变化，由于压力和温度的波动。在GF125使客户能够简化并通过省去了点的减少气板的尺寸和成本使用压力调节器，压力传感器，以及相关的硬件。
MultiFlo?气体和范围的可编程性，一个专利技术发展和完善布鲁克斯在过去的10年中，改变了质量流量控制器行业受为客户提供选择新的天然气校准和满量程没有能力的麻烦和从气体管线除去质量流量控制器的成本。该GF系列第四代MultiFlo技术不断引领市场最通过广泛的细化和物理准确，最广泛的性能验证关键过程的气体。
该GF100系列是基于一种新型的模块化一个高度可配置平台建筑。已经广泛采用半导体，真空薄膜，太阳能和相关客户，GF100系列功能集是经过精心选择，以使投递更换和大多数品牌的金属密封的质量流量控制器的升级，包括前者迅捷，单位，Tylan和Mykrolis公司品牌。有了广泛的选择和可用的功能，该GF100系列为用户提供了简化的路径和标准化，大大减少备件库存和支持成本。
特点优点
MultiFlo气体和范围可配置能力，以重新配置新的传感器进行校准和满量程范围内的质量流量控制器无的时间，并从气体管线删除该设备的成本。用户可访问服务端口与先进方便的接口诊断为最大正常运行时间。确保设备在用户操作诊断与友好的用户界面指定的高产量和最大正常运行时间的限制。耐腐蚀镍基合金T-崛起传感器提供了无与伦比的长期稳定的传感器确保最大的成品率和产量。压力瞬变不敏感（PTI），提高高收益。降低整体煤气面板成本。精度（HA），安全传输系统（SDS）选项
美国Brooks Instruments（布鲁克斯）作为EMERSON（艾默生）旗下的一子公司，专门从事流量计产品的生产。Brooks Instrument公司出品的流量计和流量控制器为各种流量测量和控制提供了可靠的解决方案。凭借60多年的经验，Brooks公司不断推出各种流量计以及压力控制技术（压力控制器、压力表、压力变送器等）。Brooks还提供一系列磁性液位计和其他液位测量产品。
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