Entegris过滤器的特点与优势

Entegris是一家成立于1966年的公司，总部位于美国马萨诸塞州的比勒里卡，专注于为半导体、显示器、生物医疗和其他高性能行业提供先进的材料、设备、过滤器和测量技术。

在过滤器方面，Entegris提供多种类型的过滤器产品，包括气体过滤器和液体过滤器，具有卓越的过滤效率、高流量、化学相容性、生物安全保险和全球法规合规性等特点。其气体过滤器产品如Wafergard系列，具有高纯度气体系统的理想选择，适用于高温和动态压力应用。此外，Entegris还提供Pharmsteri™ PTFE滤筒过滤器、Trinzik™ UPW超纯水过滤器等液体过滤器，这些产品广泛应用于制药、食品饮料、半导体制造等领域。

Entegris过滤器的特点与优势

高精度过滤：Entegris 的气体过滤器能够提供 0.0015 微米甚至更高精度的颗粒过滤，可有效去除气体中的微小颗粒杂质，确保进入工艺过程的气体达到超高纯度，满足半导体等高科技行业对工艺气体的严格要求。

多种材质选择：采用镍、不锈钢、合金 - 22、PTFE 等多种材质制造过滤器，以适应不同的化学兼容性和工艺条件需求。例如，在处理腐蚀性气体时，可选用耐腐蚀性强的镍材质过滤器；而对于一些对纯度要求极高且化学性质较为温和的气体，则可选择 PTFE 材质的过滤器。

高流量设计：部分型号的过滤器如 Wafergard 系列，在保证高精度过滤的同时，能够实现较高的工艺气体通量，提高生产效率，满足大规模集成电路制造等对气体流量要求较高的工艺需求。

紧凑设计与节省空间：表面贴装式的气体过滤器，如 Wafergard C-seal 和 W-seal 系列，具有较小的占地面积，可在气体面板上节省空间，减少零部件库存和种类，有助于提高设备的集成度和空间利用率。

良好的兼容性：其过滤器与各种半导体工艺气体，包括惰性气体、氢化物气体和反应性气体等都具有出色的兼容性，确保在不同的工艺环境中都能稳定可靠地运行，不会因气体与过滤器材质发生化学反应而影响过滤效果或产生杂质。