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PETER WOLTERS抛光机AC microLine 1500

产品介绍

LAPMASTER WOLTERS 为需要准确结果的半导体客户提供可靠的晶圆抛光机。我们为晶圆和基板的高精度表面技术提供量身定制的解决方案。例如在 Silicon Prime Wafer 和 LED 市场。硅、蓝宝石、砷化镓、碳化硅等用于制造微电子、微光学和微机械器件的材料。我们适用于各种直径基材的研磨、研磨、机械和化学抛光机可提供准确的工艺结果。LAPMASTER WOLTERS 是硅晶片抛光机的主要供应商,可抛光直径达 450 毫米。

性能特点

  • 快速、符合人体工程学的装卸
  • 外摆式上工作盘,以良好方式进入工作区域
  • 用户友好、直观的操作
  • 良好的加工效果和高的精度
  • 运行成本低
  • 个性化流程开发
  • 低维护/友好

技术参数

  • 机器尺寸[高×宽×深] [mm]:2510×3560×2900
  • 不含控制柜的机器重量[kg]:8200
  • 最大工件高度[mm]:125
  • 最大工件直径[mm]:500

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