INTELLIDRIVESXY升降-旋转台LSMA-200+XY LSMA167-25X25

该系统是直线推杆 LSMA-200（垂直行程 100 mm）和 XY 工作台 LSMA-167（行程 25 x 25 mm）的组合。可根据要求提供不同的阶段组合和行程行程。作为选项，可以安装旋转台 RTHM-190。

• 升降行程 100 mm
• XY 行程 25 x 25 毫米
• 旋转台可选
• 综合解决方案

旋转台（可选）RTHM-190

旋转：无限制

重复性：20 arc-sec

分辨率：2 arc-sec

扭矩：1 Nm

角速度：8 rpm

机械，比率：蜗轮，180:1

电机：步进

伺服

升降台LSMA-200

行程：100 ... 200 mm

重复性：1µm

分辨率：0.25 µm

负载能力：4 kg

速度： 20 mm/sec（伺服）

机械，丝杠导程：丝杠，0.5 mm

电机：步进

伺服

XY载物台XY-LSMA-167-25x25

重复性：1 µm

分辨率：0.25 arc-sec

升程平移：0.25 mm/rev丝杠

1mm/rev滚珠丝杠

速度：max.20 mm/sec（伺服）

机械，丝杠导程：丝杠0.25 mm，滚珠丝杠 1 mm

电机：步进