BOC EDWARDS低温泵ON-BOARD IS 320FX

On-Board IS 320FX 低温泵专为应对当今离子注入工艺的挑战而开发，可提供更高的氢气泵送速度和容量，同时保持您对 On-Board的所有质量、性能和可靠性优势 IS 320FE 低温泵。On-Board IS 320FX 低温泵旨在提供高的氢气真空抽速和容量，以提高产品产量和工具产量。 基于 Edwards 广泛的低温泵设计知识，该低温泵优于所有其他同等尺寸的泵，同时符合严格的准则。智能系统控制提供更好的工艺质量、真空一致性和正常运行时间，同时提供实时系统知识以优化电机速度和低温温度。针对不断变化的热/气体负载条件的自动调整增强了真空一致性并缩短了晶圆间的恢复时间。On Board IS 320FX 还可以针对工艺相关涂层的堆积进行调整，而不会影响可靠性或生产力。 

• 专为离子注入应用而设计
• 智能自调节技术
• 拥有成本更低
• 增加正常运行时间

• 氢气容量:30L /40L
• 分频器：300 Torr-L
• ISO 真空法兰内径：12.6 英寸（320 毫米）