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MetaPULSE 系列是金属薄膜厚度测量的行业标准。MetaPULSE G 系统可在所有金属薄膜上提供良好的性能,并针对在逻辑、内存和 3D 封装工艺中至关重要的薄单层和多层应用进行了优化。Onto Innovation 的PULSE技术提供了一种非接触式、非破坏性技术,可测量产品晶圆上多层金属薄膜叠层中每一层的厚度,而不会受到底层或层级的干扰。与光学和 X 射线技术不同,PULSE 技术使用时间分辨声学信号测量薄膜厚度,该声学信号可用于有源芯片,无需特殊的计量测试场所。
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