ENTEGRIS预过滤器外壳和空气循环系统E2000

为扫描仪系统和小型环境的清理提供先进的二层保护。 如果需要额外的保护或没有空气处理系统，则可以化学净化环境空气。E2000 预过滤器外壳和空气循环系统是我们市场的 OEM 扫描仪集成过滤器系统的自然延伸。 E2000 系统增强了对空气中低分子量硅 (LMWSi) 和可冷凝有机物的镜片污染的保护。它满足 Nikon、ASML 和 Canon photobay 环境规范并延长 OEM 扫描仪过滤器有机物的使用寿命。作为独立系统使用，E2000 系统可以通过再循环空气和去除导致腐蚀和工艺问题的空气污染物来清洁设施。

选择吸附化学物质以大限度地提高目标 AMC（空气中的分子污染物）的容量

匹配现有的 OEM 扫描仪过滤系统

用于过滤小型设施的紧凑型独立解决方案

适用于所有应用的轻松改造

符合 Nikon、ASML 和 Canon 环境规范