ENTEGRIS浓度监测仪InVue GV148

InVue GV148 液体浓度监测器可在不干扰或中断过程的情况下，为化学品混合、加标和稀释提供实时过程流体浓度测量。GV148 液体浓度监测仪集成在一个紧凑的高的纯度封装中，可提供经济的高性能浓度监测，从而提高生产线前端 (FEOL)、生产线后端 (BEOL) 的工艺效率 ) 和子晶圆厂交付化学系统。 这种增加的过程可见性导致更严格的过程控制、更高的晶片产量、减少的化学品使用和减少的废料。GV148 监测仪采用经过验证的折射率技术，封装在紧凑的配置中，可提供准确和可重复的液体浓度测量方法。 在线传感器可准确测量过程流体的折射率 (IoR) 和温度。 然后使用该信息来计算过程流体浓度。

使用反射指数测量 CMP 浆料和非导电流体

带有集成电子元件的小尺寸可大程度地减小工具尺寸

HMI 软件支持实时数据记录、分析和定制

窗户清洁端口可轻松访问蓝宝石窗户进行清洁