德国原装进口产品 及时 高效的托管采购!

  • 400-135-1288

当前所在位置: 首页 > 产品首页 > 环境、健康、安全 > 空气处理及噪声管理 > 空气过滤器/气体过滤器

ENTEGRIS化学空气过滤器VaporSorb CSP-32

产品介绍

Entegris 是微电子行业空气分子污染 (AMC) 控制领域的佼佼者。 我们的 VaporSorb CSP-32 化学空气过滤器为曝光工具光学元件和光刻胶提供保护。 CSP-32 过滤器包含碳和聚合化学介质的独特组合,可针对并去除分子酸(如 HCl、H2SO4 和 HNO3)、酸形成物质(如 SO2)、分子碱(如 NH3、NMP 和 胺)和可冷凝有机化合物,定义为沸点大于 150°C (302°F) 和/或分子量大于 120 的化合物。专门设计用于 Entegris 的定制过滤器外壳,例如 E1250、Ex2600 和 E3000、VaporSorb CSP-32 过滤器以串联方式使用,以提供保护,防止意外和升高的污染事件,包括意外的溶剂和显影剂化学品泄漏。

性能特点

不对称滤波器设计可防止 HDMSO 转换为 TMS

去除酸、碱和可冷凝的有机物

折叠式过滤器设计采用刚性深框

低压降使多个保护层的串联过滤器布局成为可能

堆栈间采样端口,便于监控

技术参数


返回首页 | 产品中心 | 客服中心 | 公司简介 | 联系方式

Copyright© 2013-2023 上海连航机电科技有限公司 版权所有
地址:上海市宝山区沪太路1866号诺诚M7创意园B区211
电话 (Tel.):400-135-1288    传真 (Fax):400-135-1288   邮箱 (E-mail):info@linhorn.com
 

沪公网安备31011302006898号 沪ICP备15040643号-1

扫描微信二维码关注我们

QQ联系
加企业微信咨询