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ENTEGRIS电子流量计InVue NT4400

产品介绍

InVue NT4400 电子流量计设计用于半导体行业的高的纯度应用,并与高腐蚀性过程兼容。 流通设计大限度地减少死体积,降低过程污染的可能性。 该仪器的所有接液部件均采用 PTFE 和其他高的纯度含氟聚合物。该仪器采用非金属压力传感技术,利用差压提供准确可靠的流量和压力测量。 流量和压力测量不受气泡或滞留蒸汽的影响。 所有产品都经过工厂校准和 100% 验证,无需现场校准,安装简单。 标准电子输出可轻松与 PLC、控制系统和电子显示器集成。

性能特点

没有运动部件产生粒子

用于可靠测量的非金属传感技术

用于附加过程信息的集成压力传感器

流通式设计,大限度地减少死体积

关键测量的 1% 满量程精度

易于安装在任何方向

技术参数


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