168 大型 HV 摆式隔离阀即使在恶劣的工艺条件下也能提供可靠的隔离性能。它非常适合大流量应用中的隔离要求,例如大型涂层或显示器生产系统。因此,它提供 DN 400 和 500mm 两种规格。168 阀门提供可选的 3 位气动或标准气动,均为双作用。
凭借其特殊的分体式设计,无需拆卸管道连接或工艺室连接即可进行维护。其纤薄的设计允许将 168 直接安装到制程腔体,从而消除了例如腔室 - 阀门 - 泵连接中通常需要的体积。
凭借其坚固的设计以及多种设计选项,168 系列易于集成到各种真空工艺中。
168系列已在全球数百个批量和在线生产系统中安装在各种工艺条件下,已在各个方面证明了其性能。
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