产品介绍
CMP化学空气过滤器对 22 nm 及以下波长的各种空气分子污染物提供全面保护。保护工艺设备和晶圆免受空气分子污染的破坏性影响。
性能特点
- 防止 22 nm 及以下的 AMC
- 针对酸性污染物的平衡介质混合
- 去除关键的酸、碱和有机物以降低污染风险
技术参数
CMP化学空气过滤器对 22 nm 及以下波长的各种空气分子污染物提供全面保护。保护工艺设备和晶圆免受空气分子污染的破坏性影响。
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