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产品介绍
VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 设计的多光束高功率准分子激光器。高分辨率移动显示器制造的高质量需求需要高品位低温多晶硅 (LTPS)，该多晶硅 (LTPS) 只能使用准分子激光器制造。
这些激光器非常适合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学器件。
性能特点
- 非常高的UV 功率，可实现高通量应用
- 能量稳定性，确保高产量
- EquiSwitch 同步提供低的抖动
- 激光数据采集可实现过程控制
- 密封和净化的光束路径，可实现稳定的长期运行
- 用于控制和快速数据采集的以太网接口
技术参数
产品尺寸
产品应用
准分子激光退火
脉冲激光沉积
沪公网安备31011302006898号
