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产品介绍
LIK系列光栅尺特别适用于安装空间有限的应用。自带2场EPIFLEX读数模块，也适用于恶劣的应用环境。
性能特点
- 真空版LIK 21，外壳版本1
- 带EPIFLEX读数模块（2场扫描）
- 光栅尺部件满足真空度达10 E-9 mbar（UHV）的气压要求
- 支持150 °C时12小时的加热周期
- 1 Vpp或RS 422输出信号
- 多达100倍的细分信号
- 最小测量步距仅50 nm
- 运动速度达10 m/s（1 Vpp）
沪公网安备31011302006898号
