MALEMA流量控制器LFC-7000

MALEMA流量控制器LFC-7000是一款超声波液体流量控制器，这款高性能闭环流量控制器设计用于各种液体，包括去离子水、刺激性化学品和CMP抛光浆料。LFC-7000流量控制器采用无移动部件的超声波流量计模块提供“正常运行时间”（含夹管更换周期为 3 年或更长时间的浆料模块）。

• 高精度，将流量控制在设定值的 ± 1%以内
• 快速响应3 秒
• 2 种类型的控制阀应用范围广
• 广泛的流量控制能力
• 全PTFE/PFA 润湿部件结构 - 确保与高压液体化学品、去离子水和 CMP 浆料兼容（浆料模块配有铂固化硅胶管）

产地：美国

标准满量程范围：50、100、250、500、1000、1500、2500、4000、8000、12000 mL/min

精度：（室温DIW）：设定点的 ±1% 或± 3mL/min（以较大者为准）

重复性：设定值的 ±1% 或 ±1 mL/min（以较大者为准）

控制重复性：±设定点的 0.5% 或 ±0.5mL/min（以较大者为准）

流量控制时间：< 3 秒

流体温度：10℃- 60℃

环境温度：0 - 40℃

环境湿度：30 - 80% RH，不结露

预期工作压力Max：50 磅/平方英寸

内部压力Max：70 磅/平方英寸

压差范围：7 至 30 psid

非接液部件外壳材料：PPS、PEEK、亚克力、乙烯基、PVC

接液部件材料：PFA、PTFE、铂固化有机硅

阻燃：FMET4325

安装方向：水平或垂直

流体连接：入口/出口：1/4" 或 3/8"，扩口或柱形

流量限制（孔口）：> 2 mm

入口防护等级：IP64

电源输入：24 V±10 %

电流消耗Max：0.5 A

控制信号输入：0 至 10 V或 4 至 20 mA

流量信号输出：0 至 10 V或 4 至 20 mA

半导体CMP工具

基于蠕动泵的输送系统

控制清洁化学品的混合和输送

流体混合

点胶应用