COORSTEK碳化硅陶瓷TPSS

 TPSS 产品具有高纯度、高强度和高耐腐蚀性等多种特性，TPSS是一种导电材料，不易产生静电。适用于半导体热处理炉的炉芯管、热平衡管、舟和叉。 此外，还提供采用 CVD 方法在产品表面镀上一层超纯致密碳化硅膜的产品，以满足用户的各种需求。

高纯度、高强度

高耐腐蚀性

均匀加热

耐热震性

抗氧化性

产地：日本

比热（室温，J/gK）：0.69

线膨胀系数（×10 ^-6 /K）：4.3（室温～1000℃）

导热系数（室温，W/mK）：175

耐热震温度（△T、℃）：400

表层材质：CDV碳化硅膜

体积电阻率（Ω厘米）：10^-1

按等级进行化学分析：TPSS-U

Fe 2.5  Al 0.5  Na 0.2  K 0.2  Ca 0.7  Cu <0.01  Cr 0.1  Ni 0.3

表层材料热膨胀系数：碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9

硝酸和氢氟酸的混合酸溶液：不会被腐蚀

炉芯管、热平衡管、舟和叉