BILZ电子气动位置控制EPPC

用于高度动态和振动敏感的机器和仪器的实时液位控制。

EPPC实时液位控制可实现+/-10µm的生产精度，并显著减少偏转和沉降时间，以响应动态负载变化基于智能浏览器的用户界面，用于设置、诊断和监控。

电子气动位置控制EPPC为高精度机器、高度动态和振动敏感的测量机器、显微镜以及测试和生产机器提供好的振动隔离。

EPPC可以与三到六个BiAir薄膜空气弹簧控制组组合，以控制多达六个自由度。Bilz为系统设计提供各种不同尺寸的空气弹簧。

电子气动液位控制系统与BiAir薄膜空气弹簧相结合，可实现位置精度，并减少动态负载变化时的偏转和沉降时间。

• 位置精度（+/-10µm）
• 可单独调节的系统参数（如阻尼）
• 响应荷载变化的短挠度和沉降时间
• 每个自由度一个高性能伺服阀和一个位移传感器
• 采用CAN总线技术的优化连接系统
• 基于浏览器的智能用户界面，用于设置、诊断和监控，通过以太网连接，可进行远程维护
• 操作员状态显示（例如准备就绪、工作位置、动作完成、错误）
• 用于外部控制和监控的数字I/O接口
• 高分辨率信号处理和伺服阀技术带来的无噪声控制
• 坚固可靠的空气弹簧技术，可与Bilz BiAir®薄膜空气弹簧结合使用
• 无干扰发热、磁场波动或电磁执行器的高功耗

• 典型系统负载：800 kg–120.000 kg
• 垂直固有频率：1,2–2,5 Hz
• 水平固有频率：2,2–2,8 Hz
• 控制类型：伺服气动
• 适合洁净室：是
• 通信接口：以太网、数字I/O
• 产地：德国

-传感器分辨率：

• 位移测量系统：0.76µm
• 压力传感器：0.36毫巴
• 采样率传感器信号：1 kHz（过采样后）

• 高精度机器
• 振动敏感和高度动态的测量机
• 显微镜
• 半导体行业的测试和生产机器