WASCO真空传感器Barracuda

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产品介绍

Wasco的Barracuda系列高纯度(UHP)传感器专为在苛刻的市场应用中需要检测腐蚀性介质的应用而设计。这些传感器非常适合检测气体或液体介质，而不会对过程介质造成污染。该系列非常适合要求在高精度、严格公差应用中检测腐蚀性介质的系统。

我们为下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境设计了这些传感器。梭鱼系列的额定应用周期超过10，000，000。梭鱼拥有满足或超过SEMI F20 (UHP)的材料，临界点蚀温度性能> 35℃。所有传感器都经过氦泄漏测试，达到每SEMI F1≤1 x 10-9标准立方厘米/秒氦。

煤气箱

IGS气体面板

气体分配系统

阀门歧管箱

蚀刻和沉积系统

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