XITON PHOTONICS激光系统IXION 193 SLM

XITON PHOTONICS是泵浦固态激光器与非线性光学器件的专家。XITON PHOTONICS开发并制造了几乎任何所需波长的可靠激光系统，波长范围从深紫外185nm到中红外5µm。XITON PHOTONICS是一家位于德国的全球运营公司，拥有超过15年的经验。IXION 193 SLM是一种单频全固态激光系统，用于光学计量、193nm步进光学器件的校准或高功率ArF准分子激光器的带宽控制等应用。该系统的波长可在185至194nm之间的范围内定制，并且可以在购买时预先配置为固定波长。作为一种选择，将具有0.001nm光谱精度的高精度光谱仪集成到系统中。这允许大限度地控制激光器的光谱调谐。

• 可靠性

• 产地：德国
• 波长：193.368 nm
• 平均功率：10mW
• 脉冲持续时间：典型值8-12 ns
• 每脉冲能量：1.6µJ
• 重复频率：1-15 kHz
• 光束质量：M²<1.6
• 频谱带宽：＜80 MHz
• 光谱可调谐性：>10pm
• 相干长度：>2 m
• 脉冲对脉冲刺入.：σ<2.5%