KLA带有 6 路连接器探头与CDE工具制造的探头非常相似,但探头头不可互换,因此应格外小心,尤其是当两个系统都在现场使用时。CDE兼容探头具有独特的黑色物镜转换器。所有 Jandel 探头都具有高水平的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪验证半径、间距和平面度的规格。负载由电子测力计验证。
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