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电子真空调节器允许通过计算机化指令信号进行真空控制。命令信号先被发送到一个小型电子调节器,该调节器会向圆顶负载式平衡杆真空调节器 (EVR) 的参考端口产生先导信号,以控制过程压力。
EVR系列是一种非减压型真空调节器,可对真空供应泵和工艺之间的流量进行节流,以便将工艺真空准确控制到特定的设定值。
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