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FMA-1600A系列质量和体积流量计使用层流场内的压差原理来确定质量流量。仪表内的层流元件(LFE)迫使气体进入层流(流线型)。在该区域内,Poiseuille方程规定体积流量与压降成线性关系。差压传感器用于测量沿LFE固定距离的压降。这与气体的粘度一起用于准确确定体积流量。集成了独立的温度和压力传感器,并根据一组标准条件校正体积流量。
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